干涉仪如何工作以及我们如何节省您的时间和金钱

在移相干涉仪(PSI)中，使用机械振荡，参考以精确的增量移动到测试表面。该方法用于截面表面表征，需要对每次相移期间获得的干涉数据进行数字化处理。

每个增量都是移动的一小部分，仅以纳米调整参考表面。干涉仪在每次参考改变时捕获一帧新的数据。一旦完成，一个完整的3D图像被创建，显示确定的表面高度或波前误差。

菲索干涉仪通常用于检测表面形状、平整度和光学平面等部件的平行度。一般来说，制作好的透镜或镜子与具有所需形状的参考件进行比较。这是通过使用分束器来分离来自激光源的光束来实现的。

参考光束被指向一个高质量的表面，而测试光束被指向一个测试表面，或通过一个测试光学，然后到一个反射镜。当反射光束通过分束器返回时，它们在传感器或相机处重新组合。这就产生了干涉图案，这是由于两束不同的激光束在每个不同的表面上反射时的相位差异造成的。

相机将此信息记录为单个测量帧。可以结合几个测量帧来测量测试表面上每个点的高度，或者测量通过光学系统的光束引起的波前变化。波前测量用于确定光学元件或光学系统的光学质量。采用相移等方法获取多帧数据。

Twyman-Green干涉仪是一种用于测试光学元件、组件、系统和光学级机械表面的激光干涉仪。

它是迈克尔逊干涉仪的一种改进型。测试包括测量表面形状和透射波前质量。

它们的工作原理类似于菲索干涉仪，光源产生的光束被分束器准直并一分为二。每一束光束都移动到各自的表面，重新组合形成干涉图案。

Twyman-Green干涉仪的一个特别的优势是它能够根据其紧凑的设计在小位置进行测量，从而在难以到达的位置也能轻松定位。Twyman-Green干涉仪非常适合测量较大的凹面光学系统，焦距光学系统，非球面光学或透镜，以及自适应光学和柔性膜等移动系统。

PSI受到振动敏感性的限制，经常从车间转移到计量实验室进行控制测量。相移需要连续的调整，这有足够长的曝光时间，以至于干涉仪无意中捕捉到任何发生的振动。

这降低了测量的准确性。为了对抗车间的机械干扰，使用了动态干涉仪，因为它们不受大多数噪声和振动问题的影响。

这些仪器同时获取所有测量数据，使在繁忙的环境中准确读数成为可能。动态干涉仪可以在四次快速相移中捕获图像，曝光时间极短。这允许单帧，可测量的记录。

白光干涉仪依赖于白光，而不是激光源。它通常用于测量物体的表面粗糙度，原理与迈克尔逊干涉仪相同。

使用分束器，光被分成两个单独的光束，与测试物体和参考物体相互作用，类似于菲索干涉仪。光束重新组合，在物体表面反射后，通过传感器相机形成图像，最终形成干涉图案。这种现象用于测量测试表面的粗糙度，以及其他截面形貌，包括波纹度。

白光干涉仪能够在宽视场上测量亚纳米精度的物体。与其他干涉测量技术相比，白光干涉测量技术比较老，然而，使用白光可以消除相干噪声，例如使用激光光源时出现的杂散条纹和斑点，以及使用单色干涉测量时出现的高度模糊。

视觉扫描干涉测量法(VSI)或相干扫描干涉测量法(CSI)是在干涉测量中使用白光作为光源时应用的技术的一个例子。VSI可用于大阶跃高度样品的高分辨率测量。